Другие журналы

электронный журнал

МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609

Установка создания инжекционных режимов в МДП-приборах с наноразмерными диэлектрическими плёнками

Молодежный научно-технический вестник # 10, октябрь 2012
УДК: 621.382
Файл статьи: Дмитриев В.Г..pdf (241.28Кб)
автор: Дмитриев В. Г.

1. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых мате­риалов. – М.: Высшая школа, 1987. – С.239.

2. Fischetti M. Generation of positive charge in silicon dioxide during avalanch and tunnel electron injection // J. Appl. Phys. – 1985. – Vol. 57. – No 8. – P. 2863-2879.

3. Андреев В.В., Барышев В.Г., Столяров А.А. Метод постоянного тока в контроле МДП-структур // Петербургский журнал электроники. – 1997. – №3. – С.69-72.

4. Столяров А.А. Расширение возможностей операционного контроля инжекционностойкого подзатворного диэлектрика в производстве МДП-БИС. // Перспективные материалы. – 1999 – №1. –С.84-88.

5. Барышев В.Г., Столяров А.А. Метод постоянного тока при исследовании тонкопленочных диэлектриков в сильных полях // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. – 1986. – Вып. 10. – С.79-80.

6. Андреев В.В., Барышев В.Г., Вихров С.П., Столяров А.А. Высокополевой инжекционный метод постоянного тока для исследования зарядовой деградации МДП-систем // Шумовые и деградационные процессы в по­лупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология): Ма­териалы докл. науч.-техн. семинара. – Москва, МЭИ, 1997. – С.376-381.

7. Барышев В.Г., Парфенов О.Д., Сидоров Ю.А., Столяров А.А. Моделиро­вание выхода годных микросхем по дефектности подзатворного диэлек­трика // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 1992. – Вып. 2. – С. 57-58.

8.  Андреев В.В., Барышев В.Г., Парфенов О.Д., Сидоров Ю.А., Столяров А.А. Коррекция режимов термического отжига систем диэлектрик-полупроводник на базе информативных показателей качества диэлек­трических слоев // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. – 1992. – Вып. 2. – С.66-68.


Тематические рубрики:
Поделиться:
 
ПОИСК
 
elibrary crossref neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (499) 263-61-98
  RSS
© 2003-2017 «Молодежный научно-технический вестник» Тел.: +7 (499) 263-61-98