Энергомашиностроение
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Другие журналы

электронный журнал

МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609

Сравнение распределений магнитного поля в магнетронных распылительных системах, полученных различными методами расчета

Молодежный научно-технический вестник # 11, ноябрь 2015
УДК: 621.793.72
Файл статьи: Клюева В.А..pdf (329.56Кб)
автор: Клюева В. А.

1.   Кузмичев А. И. Магнетронные распылительные системы. В 2 ч. Ч.1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с.

2.   Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Кириллов Д.В. Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления // Наноинженерия.  2014. № 9 (39). С. 30-32. 

3.   Духопельников Д. В. Магнетронные распылительные системы: учебное пособие. В 2 ч. Ч.1. устройство, принципы работы, применение. М.: Изд. МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 53 с.

4.   Сливинская А. Г. Электромагниты и постоянные магниты.  М.: Энергия, 1972.  248 с.

5.   Тозони О.В. Метод вторичных источников в электротехнике.  М.: Энергия, 1975.  296 с.

6.   Никитенко А.Г., Гринчеков В. П., Иванченко А.Н. Программирование и применение ЭВМ в расчетах электрических аппаратов.  М.: Высшая школа, 1990. 232 с.

7.   Галлагер Р. Метод конечных элементов. Основы. Пер. с англ. М.: Мир, 1984. 428 с., ил. [Richard H. Gallagher. Finite elements analysis. Fundamentals. New Jersy: Prentice-Hall, 1975. ].

8.   Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы с электромагнитами: дис. ... канд. техн. наук. М., 2007. 202 с.

Поделиться:
 
ПОИСК
 
elibrary crossref neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (499) 263-61-98
  RSS
© 2003-2017 «Молодежный научно-технический вестник» Тел.: +7 (499) 263-61-98