Энергомашиностроение
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Другие журналы

электронный журнал

МОЛОДЕЖНЫЙ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ВЕСТНИК

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл No. ФС77-51038. ISSN 2307-0609

Исследование профиля выработки плоского дискового катода магнетронной распылительной системы

Молодежный научно-технический вестник # 05, май 2016
УДК: 621.793.182
Файл статьи: Поздняков В.Г..pdf (637.36Кб)
автор: Поздняков В. Г.

[1]          Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. В 2 кн. Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с.

[2]          Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.

[3]          Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы: учеб. пособие: в 2 ч. Ч. 1: Устройство, принципы работы, применение. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 53 с.

[4]          Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьёв Е.В., Кириллов Д.В. Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления // Наноинженерия. 2014. № 9 (39). С. 30-32

[5]          Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А. Исследование профиля выработки катода дугового испарителя с арочным магнитным полем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн.  2012. №11. DOI: 10.7463/1112.0482485

[6]          Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А., Чжо Вин Наинг. Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 10 (22). DOI: 10.18698/2308-6033-2013-10-1042

[7]          Кириллов Д.В., Рязанов В.А. Исследование профиля выработки катода дугового испарителя при различных токах разряда и индукции магнитного поля // Молодежный научно-технический вестник. 2013. № 5. Режим доступа: http://sntbul.bmstu.ru/doc/568240.html (дата обращения 10.03.2016).

[8]          Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов: учебное пособие. С.-Пб.: Изд-во «Лань», 2010. 608 с.

Поделиться:
 
ПОИСК
 
elibrary crossref neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (499) 263-61-98
  RSS
© 2003-2017 «Молодежный научно-технический вестник» Тел.: +7 (499) 263-61-98